低溫旋轉(zhuǎn)等離子清洗機(jī)的作用及工作原理
發(fā)布時(shí)間:
2023-10-13
低溫等離子設(shè)備是一種用于產(chǎn)生低溫等離子體的裝置，它在多種應(yīng)用領(lǐng)域都具有重要的作用，包括材料處理、半導(dǎo)體加工、等離子體物理研究等。
低溫等離子體是一種帶正電荷的氣體，其分子中的電子被激發(fā)到高能級(jí)，形成自由電子和帶正電荷的離子。這種狀態(tài)的氣體具有高度活躍性，可以用于實(shí)現(xiàn)許多有用的化學(xué)反應(yīng)和材料處理過程。
等離子清洗機(jī)工作原理
等離子表面處理是通過對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。等離子與材料表面可產(chǎn)生的反應(yīng)主要有兩種，一種是靠自由基來做化學(xué)反應(yīng)，另一種則是靠等離子作物理反應(yīng)。
等離子清洗機(jī)的作用及優(yōu)勢(shì)
作用：
清洗：去除材料表面物/顆粒/臟污去除材料表面物/顆粒/臟污去除材料表面物/顆粒/臟污貼力；
活化：將活性基團(tuán)加入材料表面分子鏈中提高材料表面能，增加親水性與活性；
改性：保持材料或制品原性能的前提下，賦予其表面新的性能，如親水性、生物相容性等；
去膠：去除光刻膠、電路板去膠，除膠渣，提升材料表面的親水性、附著力、粘接力；
涂覆：在材料的表面形成一層保護(hù)膜，給材料進(jìn)行保護(hù)，可以改良具有不同涂層的工件；
蝕刻：ICP硅刻蝕、CCP介質(zhì)刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕，保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。
優(yōu)勢(shì)：
表面清潔和活化，提升涂層附著力和均勻性
增加表面粗糙度，增加涂層附著面積
提高防腐蝕性
能耗低、要求條件簡(jiǎn)單，只需要供壓縮氣及電源即可工作
無廢棄排放，對(duì)環(huán)境無害
等離子清洗機(jī)的應(yīng)用
- 電子行業(yè)
電路板、FPC表面存在焊接不牢的現(xiàn)象，等離子處理可提高表面附著力，去污、解決焊接問題。
- 顯示行業(yè)
等離子處理能有效清楚表面油性污垢何郵寄污染離子，提高TP綁定穩(wěn)定性。
- 3C行業(yè)
手機(jī)組裝粘結(jié)、攝像頭模組、耳機(jī)粘接、中框粘接等工序都需要進(jìn)行等離子處理，提高表面附著力，增強(qiáng)粘接強(qiáng)度。
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